半导体材料加工推行清洁生产刍议

1998, 03,

半导体材料加工推行清洁生产刍议

1.北京有色金属研究总院

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发布时间： 1998-06-12

出版时间： 1998-06-12

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摘要：

推行清洁生产是控制环境污染，降低末端处理负担，实现节能、降耗、减污、增效的有效手段。本文针对砷化镓和磷化镓材料加工，提出了查清源头、减污方案及优化末端处理等途径。

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参考文献

小川洋二编著。水质关系试验全解。税务经理协会发行，1981

基本信息:

中图分类号:X383,TN304

引用信息:

[1]杨钧.半导体材料加工推行清洁生产刍议[J].有色金属(冶炼部分),1998(03).

发布时间：

1998-06-12

出版时间：

1998-06-12

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